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MEMS微型气体传感器芯片

  伴随着国家气氛质量指标、各行业大气污染物排放标准的颁布实施,以及国家对大气环境污染恶化的重视,生产企业必须肩负起自己的友情会ios下载全站责任。但大气污染源具有复杂性,污染物具有流动性,采纳少数几个具有传统大型检测仪器的检测站点来监控排放,几乎是毫无用处的。为实现大气污染治理改善,需要对环境气氛质量实行高密度实时监控。

  另外,随着环境气氛质量的恶化和呼吸系统疾病的巨增,人们对自己居住空间的有害气体含量越来越关切。许多高档社区、医院与商场等公共场所对自身及周围环境实施了监管;部分高档汽车厂家已经对车内气氛质量实施了监控;另有几家澳门环球大满贯捕鱼厂家已经或正在开拓气氛质量监控的个人穿戴式应用,澳门环球大满贯捕鱼的应用将打开气体传感器应用巨大市场的想象空间。

  当前,MEMS气体传感器在国外也只是刚刚兴起,在国内则还停留在大学、研究所实验室阶段,这些国内实验室多数考虑的是公布论文、猎取科研项目,缺乏产业化的知识和视野。国内多数大学、研究所的这种局限性决议了他们很难制作出商业化的MEMS气体传感器及衍生产品。

  巨正MEMS气体传感器批量制作,替代进口产品,并通过继续研发,实现产品国际领先水平。

  这种新型的气体传感器将MEMS技术和纳米技术结合起来,具有小尺寸、低功耗、快速相应、高灵敏度、高选择性、高稳定性、低成本,是便携式应用和高密度实时监控应用的理想选择。

 

        

 

  MEMS结构示意图

 

  具体性能参数:

  低成本;

  微体积(芯片大小2*2mm,封装尺寸5*5*1.3mm);

  高灵敏度(0.1-2ppm);

  非常低的功耗;

  长期稳定性;

  长寿命(MEMS的工作寿命大于10000小时);

  技术领先(结合厚膜技术、薄膜技术和硅衬底技术,使用专利配方的气体铭感层沉积于加热器和叉指电极的顶部);

  提供包括整合应用电路在内的完成的气体传感器应用模块;

  提供移动终端数据接入与访问接口。

 

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